专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：用于干涉测量确定距离的装置专利类型：发明专利
发明人：沃尔夫冈·霍尔扎普费尔申请号：CN201210317094.6申请日：20120830公开号：CN102967269A公开日：20130313
摘要：本发明涉及一种用于两个尽可能平行布置的板之间的干涉测量的距离确定的装置，装置具有光源、至少一个射束分配元件、至少一个反射器元件和检测单元。光源的射线束入射在第一板上的射束分配元件上被分配为基准射线束和测量射线束。测量射线束入射在第二板的反射器元件上经历第一逆反射。基准射线束穿过第一偏转元件，测量射线束穿过第二偏转元件；两个射线束穿过所属的逆向反射器，测量射线束穿过第三偏转元件，基准射线束穿过第四偏转元件。偏转元件对穿过的射线束分别施加偏转作用。基准射线束在第一板上反射，测量射线束在第二板的反射器元件上经历第二逆反射，因此两个射线束同线地、沿检测单元的方向干涉地传播，产生多个相位移的距离信号。
申请人：约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
地址：德国特劳恩罗伊特
国籍：DE
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
更多信息请下载全文后查看
